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内容大纲
杰拉尔德·马歇尔、格伦·斯图兹主编的《光学和激光扫描技术手册(原书第2版)(精)》具有以下显著特点:第 一,内容丰富,不仅有详尽的光学和激光扫描技术理论,而且给出许多实际的扫描实例;第二,覆盖面广,既介绍了常规的扫描技术(如单反射镜、转鼓),又阐述了一些利用诸如微纳米光学(微光机电系统)和全息光学的先进技术研发的光学和激光扫描装置;第三,为使本书能够充分反映光学和激光扫描技术领域的国际先进水平,汇集了该领域美国、英国、日本等国的26位专家的研究成果,具有一定代表性。
本书可供光电子学、空间传感器及系统、遥感、热成像、军事成像、光通信领域中从事光学和激光扫描器设计和制造、光电子仪器总体设计、光学系统和光机结构设计的设计师、工程师阅读,也可作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。 -
作者介绍
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目录
译者序
原书第2版前言
原书第1版前言
致谢
第1章 激光束特性: M2模型
1.1 概述
1.2 激光束特性(理论)发展史
1.3 本章内容的组织结构
1.4 混模激光束的 M2模型
1.4.1 基横模:厄米特-高斯和拉盖尔-高斯函数
1.4.2 混模:纯模的非相干叠加
1.4.3 与光束直径相关的基模特性
1.4.4 基模光束的传播特性
1.4.5 混模激光束的传播特性:嵌入式高斯分布和 M2模型
1.5 利用透镜对基模和混合模进行光束变换
1.5.1 利用光束-透镜转换技术测量激光束发散角
1.5.2 光束-透镜转换的应用:深聚焦的局限性
1.5.3 逆变换常数
1.6 基模和混模光束直径的定义
1.6.1 由辐照度分布确定光束直径
1.6.2 获取实用光束分布图的具体思考
1.6.2.1 市售扫描轮廓仪的工作原理
1.6.3 五种定义和测量光束直径(常用)方法的比较
1.6.3.1 Dpin(针孔分布 1/e2限幅点的间隔)
1.6.3.2 Dslit(狭缝分布 1/e2限幅点的间隔)
1.6.3.3 Dke(刀口扫描限幅点15.9%和84.1%的两倍间隔)
1.6.3.4 D86(通过总能量86.5%的同心圆孔直径)
1.6.3.5 D4σ(针孔辐照度分布标准偏差的4倍)
1.6.3.6 D4σ(对辐照度分布信噪比的灵敏度)
1.6.3.7 ISO选择 D4σ作为标准直径的理由
1.6.3.8 直径定义的总结
1.6.4 直径定义之间的转换
1.6.4.1 M2是唯一的吗?
1.6.4.2 转换规则的经验基础
1.6.4.3 不同定义直径间的转换规则
1.7 测量光束质量M2的具体问题:四切法
1.7.1 四切法的逻辑性
1.7.1.1 利用附加透镜形成可测束腰
1.7.1.2 束腰位置精度
1.7.2 数据的图形分析
1.7.3 对数据进行曲线拟合分析的相关讨论
1.7.4 市售测量仪器和软件包
1.8 光束不对称性类型
1.8.1 光束不对称性的常见类型
1.8.2 等效柱形光束的概念
1.8.3 其他光束的不对称性:扭曲光束,复杂像散
1.9 M2模型在激光扫描器中的应用
1.9.1 立体光刻扫描器
1.9.2 转换为统一的刀口法体系
1.9.3 为何使用多模激光束?
1.9.4 如何解读激光束测试报告?
1.9.5 利用等效透镜代替聚焦扩束镜
1.9.6 景深和扫描面位置处光斑尺寸的变化
1.9.7 限制扫描面上激光光斑圆度的技术要求
1.9.7.1 案例A:10%束腰不对称性
1.9.7.2 案例B:10%发散度不对称性
1.9.7.3 案例C:像散造成扫描面上有12%的不圆度
1.10 总结: M2模型综述
致谢
专业术语
参考文献
第2章 激光扫描光学系统
2.1 概述
2.2 激光扫描器结构
2.2.1 物镜扫描
2.2.2 物镜后置扫描
2.2.3 物镜前置扫描
2.3 光学设计和优化:概述
2.4 光学不变量
2.4.1 衍射受限
2.4.2 实际高斯光束
2.4.3 切趾率
2.5 性能问题
2.5.1 图像辐照度
2.5.2 像质
2.5.3 分辨率和像素数
2.5.4 焦深
2.5.5 F-θ条件
2.6 初级像差和三级像差
2.6.1 初级色差校正
2.6.2 三级像差性质
2.6.2.1 球差
2.6.2.2 慧差
2.6.2.3 像散
2.6.2.4 畸变
2.6.3 三级像差经验法则
2.6.4 匹兹伐(Pitzval)半径的重要性
2.7 具体设计要求
2.7.1 检流计式扫描器
2.7.2 多面体反射镜扫描
2.7.2.1 扫描线弯曲
2.7.2.2 光束位移
2.7.2.3 交叉扫描误差
2.7.2.4 小结
2.7.3 多面体反射镜扫描效率
2.7.4 内转鼓式系统
2.7.5 全息扫描系统
2.8 物镜设计模式
2.8.1 简单扫描物镜的设计剖析
2.8.2 采用倾斜面的多结构布局
9.8.6.3 性能衰减过程
9.8.7 应用准则
9.8.7.1 何种情况下使用微机电扫描器
9.8.8 预期发展
9.8.9 小结 365 9.
总结
致谢
参考文献
第10章 全息条形码扫描器:应用、性能和设计
10.1 概述
10.1.1 通用产品代码
10.1.2 其他条形码
10.1.3 条形码性质
10.2 非全息型UPC扫描器
10.2.1 前视扫描器
10.2.2 卷绕扫描图
10.2.3 景深
10.3 全息条形码扫描器
10.3.1 全息偏转器定义
10.3.2 全息条形码扫描的奇特性质
10.3.3 普通光学条形码扫描器的景深
10.3.4 全息条形码扫描器的景深
10.4 全息扫描技术的其他特性
10.4.1 聚焦区域叠加
10.4.2 可变聚光孔径
10.4.3 小衍射面的识别和扫描跟踪
10.4.4 扫描角倍增
10.5 全息条形码扫描器的偏转器材料
10.5.1 面浮雕相位介质
10.5.2 体相位介质
10.6 全息偏转器的制造技术
10.6.1 重铬酸盐明胶全息光盘
10.6.2 采用机械法复制面浮雕全息光盘
10.7 全息条形码扫描器实例:美国码捷公司五边形扫描器
10.7.1 五边形扫描图
10.7.2 五边形扫描机理
参考文献
第11章 声光扫描器和调制器
11.1 概述
11.2 声光相互作用
11.2.1 光弹性效应
11.2.2 各向同性声光相互作用
11.2.3 各向异性衍射
11.3 声光调制器和偏转器的设计
11.3.1 分辨率和带宽
11.3.2 反应带宽
11.3.3 偏转器设计方法
11.3.4 调制器设计方法
11.4 扫描专用声光器件
11.4.1 声行波透镜
11.4.1.1 设计方面的考虑
11.4.2 啁啾衍射透镜
11.4.3 多通道声光调制器
11.5 声光器件的材料
11.5.1 总体考虑
11.5.2 理论指标
11.5.3 声光扫描器材料的选择
11.6 声波换能器设计
11.6.1 换能器特性
11.6.2 换能器材料
11.6.3 阵列换能器
11.7 声光器件制造技术
11.7.1 器件壳体制造技术
11.7.2 换能器的粘结技术
11.7.3 封装技术
11.8 声光扫描器的应用
11.8.1 多面体反射镜扫描器中的多通道声光调制器
11.8.2 红外激光扫描技术
11.8.3 二级声光扫描器
11.8.3.1 扫描器光学系统
11.8.3.2 驱动器
11.8.4 声光器件和声光可调谐滤波器的应用
11.8.4.1 声光调制器
11.8.4.2 声光偏转器
11.8.4.3 声光变频器
11.8.4.4 声光可调谐滤波器
11.8.4.5 声光波长选择器
11.8.4.6 多色声光调制器
11.9 总结
致谢
参考文献
第12章 电光扫描器
12.1 概述
12.2 电光效应理论
12.2.1 电光效应
12.2.2 线性电光效应
12.2.3 二次方电光效应
12.3 电光偏转器的主要类型
12.3.1 基本拓扑学
12.3.2 表述电光扫描器的术语
12.3.2.1 光束位移和偏转角
12.3.2.2 支点
12.3.2.3 可分辨光斑
12.3.3 单元件及组装件
12.3.4 成形电场
12.3.4.1 均匀施加电压形成梯度折射率
12.3.4.2 固定间隔的梯度折射率
12.3.4.3 固定间隔和电压情况下的梯度折射率
12.3.5 极化结构
12.3.5.1 棱柱式极化结构
12.3.5.2 矩形扫描器
12.3.5.2.1 矩形扫描器中最佳三角形数目
12.3.5.2.2 矩形扫描器的偏转灵敏度
12.3.5.2.3 矩形扫描器的支点位置
12.3.5.3 梯形扫描器
12.3.5.3.1 梯形扫描器的偏转灵敏度
12.3.5.3.2 梯形扫描器的支点位置
12.3.5.3.3 梯形和矩形扫描器的比较
12.3.5.4 喇叭形扫描器
12.3.5.4.1 喇叭形扫描器的偏转灵敏度
12.3.5.4.2 喇叭形扫描器的支点位置
12.3.5.4.3 喇叭形扫描器与梯形和矩形扫描器的比较
12.3.5.5 域反转全内反射偏转器
12.3.5.6 域反转光栅结构
12.3.5.7 其他极化结构
12.4 电光偏转器的电子驱动装置
12.4.1 概述
12.4.2 高压电源
12.4.2.1 普通升压斩波电路
12.4.2.2 反激变换电路
12.4.3 数字驱动器
12.4.3.1 简单的推挽电路
12.4.3.2 绝热驱动器
12.4.4 模拟驱动电路
12.5 电光材料的性质和选择
12.5.1 概述
12.5.2 二磷酸腺苷(ADP)、磷酸二氢钾(KDP)及相关同晶型体
12.5.3 铌酸锂及其相关材料
12.5.4 磷酸氧钛钾(KTP)
12.5.5 其他材料
12.5.5.1 AB类二元复合材料
12.5.5.2 液体的克尔效应
12.5.5.3 ( Pb, La)( Zr, Ti)O3体系的电光陶瓷材料
12.5.5.4 其他材料
12.5.6 材料选择
12.6 电光偏转系统设计过程
12.7 结论
致谢
参考文献
第13章 压电扫描器
13.1 概述
13.2 结构和设计
13.3 温度效应
13.4 移动的性质
13.5 堆栈式挠性结构的性质
13.6 电驱动
13.6.1 噪声
13.6.2 电流
13.7 可靠性
13.8 倾斜工作台设计
13.9 线性工作台设计
13.9.1 串扰
13.9.2 串扰最小技术
13.9.3 提高刚性
13.10 阻尼技术
13.11 闭环系统
13.12 应变式传感器
13.13 电容式传感器
13.14 闭环系统的电子控制装置
13.15 总结
参考文献
第14章 光盘扫描技术
14.1 概述
14.1.1 光盘技术发展史
14.1.2 光盘特性
14.1.3 光学读/写原理
14.2 光盘系统的应用
14.2.1 只读光盘系统
14.2.1.1 视频光盘
14.2.1.2 CD/CD-ROM
14.2.1.3 DVD
14.2.2 一次写入光盘系统
14.2.2.1 可录光盘(CD-R)
14.2.3 可擦光盘系统
14.2.3.1 PCR光盘
14.2.3.2 MO光盘
14.3 光盘系统的基本设计
14.3.1 光学摄像头的光学系统
14.3.1.1 光学结构布局
14.3.1.2 光强度分布的影响
14.3.2 波像差
14.3.2.1 光盘基板的像差
14.3.2.2 光学元件的波像差
14.3.2.3 半导体激光器的像差
14.3.2.4 散焦
14.3.2.5 波像差公差
14.3.3 光学摄像头装置
14.3.3.1 光学摄像头结构
14.3.3.2 致动器
14.4 半导体激光器
14.4.1 激光器结构
14.4.1.1 Al-Ga-As双异质结激光器的工作原理
14.4.1.2 高功率激光技术
14.4.2 激光束的像散
14.4.3 激光噪声
14.5 调焦和跟踪技术
14.5.1 调焦伺服系统和误差信号的探测方法
14.5.1.1 光束形状探测法
14.5.1.2 光斑尺寸探测法
14.5.1.3 光束位置探测法
14.5.1.4 光束相位差探测法
14.5.2 跟踪误差信号探测法
14.5.2.1 探测方法
14.5.2.2 三光束法
14.5.2.3 摆动法
14.5.2.4 差分相位探测法
14.5.2.5 推挽式跟踪误差信号探测法
14.5.2.6 狭缝探测法
14.5.2.7 采样跟踪法
14.6 径向访问和驱动技术
14.6.1 快速随机访问
14.6.2 光学驱动系统
致谢
附录
附录A
附录B
附录C
参考文献
第15章 计算机直接制版扫描系统
15.1 概述
15.2 扫描系统类型
15.2.1 系统分辨率和计算机直接制版
15.2.2 内鼓式扫描器
15.2.3 外鼓式扫描器
15.2.4 F-θ扫描结构
15.2.5 德国贝斯印公司印版机
15.3 确定实现CTP的方法
15.3.1 生产率
15.3.2 印版曝光时间
15.3.3 印版处理时间
15.3.4 曝光量公式
15.3.5 光源功率
15.3.6 有效面积扫描速率
15.3.7 德国贝斯印印版机有效面积扫描速率
15.4 印版机系统实例
15.4.1 日本富士(Fuji)公司Saber V8-HS型印版机(内鼓式)
15.4.2 美国柯达(Kodak)公司Generation News型印版机(外鼓式)
15.4.3 美国麦德美(MacDermid)柔性印版机( F-θ扫描器)
15.4.4 德国贝斯印6系列印版机
15.5 结论
参考文献
第16章 水下成像同步激光线扫描器
16.1 概述
16.2 激光线扫描器发展史
16.3 水下激光线扫描器成像系统光学设计原理
16.3.1 双锥体线扫描器
16.3.2 单六面体反射镜线扫描器
16.3.3 小结
16.4 光线追迹研究:焦平面孔径的技术要求
16.4.1 双锥形多面体反射镜线扫描器
16.4.2 单六面体反射镜线扫描器
16.4.3 讨论
16.5 单六面体反射镜线扫描器在测试箱中的实验结果
16.6 总结和展望
参考文献
2.8.3 多结构布局反射多面体模式
2.8.4 单通道多面体反射镜结构设计实例
2.8.4.1 CODE V程序中多结构布局物镜参数填写格式
2.8.4.2 物镜设计过程
2.8.5 双轴扫描
2.9 激光扫描物镜设计实例
2.9.1 300DPI办公打印机物镜(λ =633nm)
2.9.2 广角扫描物镜(λ =633nm)
2.9.3 中等视场角扫描物镜(λ =633nm)
2.9.4 长扫描线中等视场扫描物镜(λ =633nm)
2.9.5 适用于发光二极管的扫描物镜(λ =800nm)
2.9.6 双波长高精度扫描物镜(λ =1064和950nm)
2.9.7 高分辨率远心扫描物镜(λ =408nm)
2.10 扫描物镜制造、质量控制和最终检测
2.11 全息激光扫描系统
2.11.1 利用平面线性光栅扫描
2.11.2 扫描线弯曲和扫描线性度
2.11.3 扫描盘摆动的影响
2.12 全息非接触长度测量
2.12.1 速度,精度和可靠性
2.12.2 光学系统结构布局
2.12.3 光学性能
2.13 全息激光打印系统
2.14 总结
致谢
参考文献
第3章 数字扫描成像系统的像质
3.1 概述
3.1.1 扫描成像系统的成像理论
3.1.1.1 研究范围
3.1.1.2 参考文献问题
3.1.1.3 扫描器类型
3.1.2 扫描像质评价
3.2 基本概念和效应
3.2.1 数字成像的基本原理
3.2.1.1 数字图像结构
3.2.1.2 采样定理和空间关系
3.2.1.3 灰度等级量化:一些限制因素
3.2.2 基本的系统效应
3.2.2.1 模糊
3.2.2.2 系统响应
3.2.2.3 半色调系统响应
3.2.2.4 噪声
3.2.2.5 彩色成像
3.2.2.5.1 基础知识
3.2.2.5.2 色度学和色度图
3.3 一些具体问题的考虑
3.3.1 扫描频率的影响
3.3.2 位置误差或运动缺陷
3.3.3 其他不均匀性
3.3.3.1 对分色图像中周期非均匀性的认识
3.4 产生多级灰度信号的输入扫描器(包括数字相机)特性
3.4.1 色调再现和大面积系统响应
3.4.2 MTF和相关的弥散量
3.4.2.1 MTF法
3.4.2.2 人眼视觉系统的空间频率响应
3.4.2.3 电子增强MTF法:提高清晰度
3.4.3 噪声度量
3.5 二值阈值化扫描成像系统的评价
3.5.1 评价二值扫描系统的重要性
3.5.1.1 倾斜线和线阵列
3.5.2 阈值成像色调再现的一般原理和灰度楔的应用
3.5.2.1 基本的特征曲线和噪声
3.5.3 二值像质评价:MTF法和弥散法
3.5.3.1 分辨率(辨别细节的一种度量)
3.5.3.2 线成像的相互影响
3.5.4 与噪声特性相关的二值成像系统的度量
3.5.4.1 灰度楔噪声
3.5.4.2 线条边缘噪声范围的度量
3.5.4.3 半色调或网格式数字图像中的噪声
3.6 成像性能的综合度量
3.6.1 基本信噪比
3.6.2 探测量子效率和噪声等效量子
3.6.3 特定的应用程序上下文
3.6.4 调制要求的测量
3.6.5 MTF曲线下的面积和二次方根积分
3.6.6 主观像质的度量
3.6.7 信息内容和容量
3.7 专业的图像处理技术
3.7.1 有损压缩技术
3.7.2 数字图像的非线性增强和恢复
3.7.3 色彩管理
3.8 评价像质的心理测量法
3.8.1 心理物理学、客户调查和心理量表之间的关系
3.8.2 心理测量法
3.8.3 量表技术
3.8.3.1 识别法(标称法)
3.8.3.2 等序法(顺序法)
3.8.3.3 类型(标称类型、顺序类型、区间类型)
3.8.3.4 图形量尺法(区间量表法)
3.8.3.5 成对比较(顺序、区间、比例类型)
3.8.3.6 配分量表(区间类型)
3.8.3.7 量值估算(区间量表、比例量表)
3.8.3.8 比例估算(比例量表)
3.8.3.9 语义差别法(顺序量表、区间量表)
3.8.3.10 利开特(Likert)法(顺序量表)
3.8.3.11 混合型量表(顺序型、区间型、比例型)
3.8.4 包括统计法在内的试验问题
3.9 参考数据和图表
致谢
参考文献
第4章 多面体反射镜扫描器:组件、性能和设计
4.1 概述
4.2 扫描反射镜类型
4.2.1 棱柱式多面体扫描反射镜
4.2.2 锥体式多面体扫描反射镜
4.2.3 单面体扫描反射镜
4.2.4 不规则多面体扫描反射镜
4.3 材料
4.4 多面体反射镜制造技术
4.4.1 传统的抛光技术
4.4.2 单点金刚石切削技术
4.4.3 普通抛光与金刚石切削技术比较
4.5 多面体扫描反射镜的技术规范
4.5.1 小反射面间夹角的一致性
4.5.2 尖塔差
4.5.3 小反射面与光轴的一致性
4.5.4 小反射面半径
4.5.5 小反射面面形精度
4.5.6 表面质量与散射
4.6 镀膜
4.7 电动机和轴承系统
4.7.1 气动驱动装置
4.7.2 磁滞同步电动机
4.7.3 直流无刷电动机
4.7.4 轴承类型
4.8 扫描器技术规范
4.8.1 动态跟踪误差
4.8.2 抖动和速度稳定性
4.8.3 平衡
4.8.4 垂直度
4.8.5 时间同步
4.9 扫描器的成本因素
4.10 系统设计方面的考虑
4.11 多面体反射镜的尺寸计算
4.12 使扫描系统图像缺陷最小化的措施
4.12.1 带状缺陷
4.12.2 抖动
4.12.3 散射和鬼像
4.12.4 光强度变化
4.12.5 畸变
4.12.6 弓形弯曲
4.13 总结
致谢
参考文献
第5章 高性能多面体反射镜扫描器的电动机和控制器 (驱动器)
5.1 概述
5.2 多面体反射镜扫描器的基础知识
5.2.1 多面体反射镜扫描器结构布局
5.2.2 多面体反射镜的旋转与扫描角的关系
5.2.3 多面体反射镜旋转速度的考虑
5.3 案例研究:胶片记录系统
5.3.1 系统性能技术要求
5.3.2 转镜系统参数
5.3.3 扫描器公差
5.3.4 高性能界定
5.4 电动机
5.4.1 技术要求
5.4.2 磁滞同步电动机
5.4.3 无刷直流电动机特性
5.4.3.1 转矩和绕组特性
5.4.3.2 无刷电动机电路模型
5.4.3.3 绕组布局
5.4.3.4 换相传感器的定时和定位
5.4.3.5 转子布局
5.5 控制系统设计
5.5.1 交流同步电动机控制系统
5.5.2 无刷直流电动机控制系统
5.6 应用实例
5.6.1 军用车辆热成像扫描器
5.6.2 便携式热成像扫描仪
5.6.3 高速单反射面扫描器
5.6.4 多功能单板控制器和驱动器
5.7 总结
致谢
参考文献
第6章 旋转扫描器的轴承系统
6.1 概述 244 6.2 旋转扫描器的轴承类型
6.2.1 气体润滑轴承
6.2.2 油润滑轴承
6.2.3 磁力轴承
6.2.4 球轴承
6.3 轴承选择原则
6.4 气体轴承
6.4.1 背景
6.4.2 基础知识
6.4.2.1 低热量产生
6.4.2.2 宽温度范围
6.4.2.3 对环境无污染
6.4.2.4 平稳度的重复性
6.4.2.5 旋转精度
6.4.2.6 噪声和振动
6.4.3 空气静压轴承
6.4.3.1 空气静压圆柱轴承
6.4.3.1.1 载荷能力
6.4.3.1.2 径向刚性
6.4.3.1.3 热量生成
6.4.3.1.4 轴承气流
6.4.3.2 空气静压止推轴承
6.4.3.2.1 载荷能力
6.4.3.2.2 轴向刚性
6.4.3.2.3 发热量
6.4.3.3 空气静压轴承扫描器结构
6.4.4 气体动压轴承
6.4.4.1 螺旋槽式轴承
6.4.4.2 叶式轴承
6.4.4.3 主(转)轴结构
6.4.5 气体动静压混合轴承
6.4.6 轴承和转轴的动力学理论
6.4.6.1 同步涡动
6.4.6.2 半速涡动
6.4.6.3 转轴固有频率
6.4.6.4 转轴平衡
6.4.7 转轴组件
6.4.7.1 光学件和镜座
6.4.7.1.1 多面体反射镜
6.4.7.1.2 单面反射镜
6.4.7.1.3 单面反射镜的固定
6.4.7.1.4 全息光盘
6.4.7.2 电动机
6.4.7.3 编码器
6.5 球轴承
6.5.1 轴承设计
6.5.2 扫描器结构
6.6 磁力轴承
6.6.1 设计原理
6.6.2 扫描器结构
6.7 光学扫描误差
6.7.1 与轴承相关的误差
6.7.2 与光学元件相关的误差
6.7.2.1 多面体反射镜
6.7.2.2 单面反射镜
6.7.3 误差校正
6.7.3.1 多面体反射镜
6.7.3.2 单面反射镜
6.8 总结
致谢
参考文献
第7章 物镜前多面体反射镜扫描技术
7.1 概述
7.1.1 多面体反射镜扫描系统的公式和坐标
7.1.2 瞬时扫描中心
7.1.3 图像幅面外的稳定鬼像
7.2 多面体反射镜扫描系统的公式和坐标
7.2.1 本节目的
7.2.2 中点和扫描轴
7.2.3 反射镜面角 A
7.2.4 反射镜小反射面宽度
7.2.5 光束宽度(直径) D
7.2.6 扫描占空比(扫描效率)
7.2.7 弦高(垂度)
7.2.8 G的坐标
7.2.9 P的坐标
7.2.10 物镜光轴
7.2.11 公式
7.2.11.1 扫描轴 PU
7.2.11.2 物镜光轴
7.2.11.3 过 GP的入射光轴
7.2.11.4 反射镜小反射面的平分线和法线
7.2.12 另一种解析方法
7.2.13 图7.4 的特点
7.2.14 小结
7.3 瞬时扫描中心
7.3.1 本节目的
7.3.2 瞬时扫描中心的轨迹
7.3.3 中点和扫描轴
7.3.4 瞬时扫描中心坐标的推导
7.3.5 求解
7.3.6 表格程序
7.3.7 瞬时扫描中心
7.3.8 点 P轨迹
7.3.9 偏角限制
7.3.10 有限束宽 D
7.3.11 注释
7.3.12 小结
7.4 图像幅面外的稳定鬼像
7.4.1 本节目的
7.4.2 稳定鬼像
7.4.3 面角 A
7.4.4 小反射面间的切线角
7.4.5 扫描轴
7.4.6 偏角2β
7.4.7 中点位置
7.4.8 扫描占空比(扫描效率)η
7.4.9 旋转轴偏心距
7.4.10 选择入射光束偏角2β
7.4.11 杂散光束gh和鬼像GH
7.4.12 鬼像视场角
7.4.13 入射光束位置
7.4.14 图像幅面的扫描占空比ηω
7.4.15 入射光束偏角27°
7.4.16 入射光束偏角52°
7.4.17 入射光束偏角92°
7.4.18 入射光束偏角124°
7.4.19 图像幅面内的鬼像
7.4.20 图像幅面外的鬼像
7.4.21 小反射面数目
7.4.22 扫描器和物镜直径
7.4.23 注释
7.4.24 小结
致谢
参考文献
第8章 振镜扫描器 (检流计)和共振振镜扫描器
第9章 8.1 概述
8.1.1 发展史
8.2 组件和设计问题
8.2.1 检流计扫描器
8.2.1.1 力矩电动机
8.2.1.1.1 力矩电动机
8.2.1.1.2 绕组结构
8.2.1.1.3 散热
8.2.1.2 位置传感器
8.2.1.2.1 增益和指向稳定性方面的考虑
8.2.1.2.2 传感器漂移
8.2.1.2.3 闭环漂移传感器
8.2.1.2.4 光学传感器
8.2.1.2.5 电容式传感器
8.2.1.3 轴承
8.2.1.3.1 球轴承
8.2.1.3.2 交叉挠性支撑
8.2.1.4 反射镜
8.2.1.4.1 反射镜结构和安装
8.2.1.4.2 反射镜基板的机械保护
8.2.1.5 图像畸变
8.2.1.5.1 余弦照度定律
8.2.1.5.2 空气的折射率
8.2.1.5.3 空气动力学
8.2.1.5.4 反射镜表面的离轴
8.2.1.5.5 光路畸变
8.2.1.6 动态性能
8.2.1.6.1 谐振
8.2.1.6.2 动态平衡失调
8.2.1.6.3 机械谐振
8.2.1.6.4 电枢结构
8.2.1.6.5 驱动信号
8.2.1.7 评价指标
8.2.2 共振振镜扫描器
8.2.2.1 新型设计
8.2.2.2 悬浮结构
8.2.2.3 感应动圈
8.3 扫描系统
8.3.1 扫描结构
8.3.1.1 物镜后扫描技术
8.3.1.2 物镜前扫描技术
8.3.1.3 飞点物镜扫描技术
8.3.2 双轴光束控制系统
8.3.2.1 单反射镜双轴光束控制系统
8.3.2.2 中继透镜双轴光束控制系统
8.3.2.3 双反射镜典型结构
8.3.2.4 桨式扫描器双反射镜布局
8.3.2.5 高尔夫球杆式双反射镜布局
8.3.2.6 采用三个移动光学元件的双轴光束控制系统
8.4 驱动放大器
8.5 扫描应用
8.5.1 材料处理
8.5.2 显微技术
8.5.2.1 物镜前扫描技术
8.5.2.2 马文·明斯基共焦显微术
8.5.2.3 飞点物镜扫描显微镜
8.5.2.4 直线型飞点物镜显微镜
8.5.2.5 旋转型飞点物镜显微镜
8.6 总结
致谢
专业术语
参考文献
第9章 振荡扫描器的挠性枢轴
9.1 概述
9.1.1 宏观挠性枢轴简介
9.2 挠性枢轴技术
9.2.1 相关计算公式
9.2.2 挠性材料
9.2.3 应力
9.2.4 腐蚀
9.3 挠性枢轴制造技术
9.3.1 材料制造技术
9.3.2 挠性材料截切技术
9.3.3 防腐蚀技术
9.4 挠性装置安装技术
9.5 交叉挠性枢轴
9.5.1 概述
9.5.2 奔迪克斯枢轴
9.5.3 美国剑桥科技公司的交叉挠性装置设计实例
9.6 廉价悬臂式扫描器
9.6.1 一般特性
9.6.2 设计案例
9.6.3 需要的电动机尺寸
9.7 振弦式扫描器
9.8 微机电挠性扫描器
9.8.1 微机电扫描器设计技术
9.8.2 微机电扫描器的制造技术
9.8.3 扫描器工作原理
9.8.4 材料性质
9.8.5 静态性能
9.8.5.1 磁滞性
9.8.5.2 线性
9.8.5.3 均匀性
9.8.5.4 产出率
9.8.6 动态性能
9.8.6.1 动力学
9.8.6.2 寿命
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