- 原子层沉积技术--原理及其应用(第2版)/南京大学材料科学与工程系列丛书
- - 作者：编者:李爱东//曹燕强//方国勇//Wei-Min Li|责编:杨新改
  - 出版社：科学
  - ISBN：9787030820488
  - 出版日期：2025/08/01
  - 页数：636
- 售价：64

内容大纲
本书是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共分为十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、前驱体、沉积材料与生长机理以及理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离内膜等领域的应用，还特别介绍了正在快速发展中的原子层刻蚀技术。本书内容丰富新颖，在注重原子层沉积基本原理和生长机制阐述的同时，又突出了原子层沉积（刻蚀）材料的先进性和应用的前沿性，反映了原子层沉积（刻蚀）技术中的一些最新进展和成果，是先进技术原理与实际应用的有机结合。
本书可作为高等院校材料科学与工程、化学化工、电子信息、集成电路科学与工程、智能制造、物理等专业研究生的参考书，也可供从事材料合成与制备及其微电子、纳米技术、能源催化、光伏光学、生物医学和封装防腐等相关领域的科研人员和工程技术人员借鉴参考。
作者介绍
目录
第二版前言
第1章  原子层沉积技术概述
  1.1  原子层沉积技术诞生与发展
  1.2  原子层沉积技术现状与应用
  1.3  原子层沉积技术挑战与展望
  参考文献
第2章  原子层沉积原理
  2.1  原子层沉积基本原理
    2.1.1  原子层沉积系统的基本结构
    2.1.2  原子层沉积中的表面化学特性
    2.1.3  影响原子层沉积速率的因素
  2.2  原子层沉积的特点
    2.2.1  原子层沉积的特点、优势与局限
    2.2.2  原子层沉积的一致性与重复性
  2.3  原子层沉积分类
    2.3.1  原子层沉积反应室
    2.3.2  空间原子层沉积
    2.3.3  电化学原子层沉积
  2.4  原子层沉积中的原位表征与监控
  参考文献
第3章  原子层沉积设备
  3.1  原子层沉积设备概述
  3.2  原子层沉积反应器的主要类型
    3.2.1  热壁反应器
    3.2.2  冷壁反应器
  3.3  原子层沉积工业化设备的进展
    3.3.1  先进半导体芯片加工设备
    3.3.2  光伏高效电池加工设备
  3.4  总结与展望
  参考文献
第4章  原子层沉积前驱体
  4.1  原子层沉积前驱体要求
  4.2  原子层沉积前驱体种类
  4.3  原子层沉积前驱体特点及其应用
    4.3.1  金属类前驱体
    4.3.2  非金属类前驱体
  4.4  原子层沉积前驱体设计与理论计算
    4.4.1  金属与配体的配键强度
    4.4.2  前驱体热稳定性
    4.4.3  前驱体水解活性
    4.4.4  前驱体设计筛选流程
    4.4.5  基于ALD反应机理的前驱体设计
  参考文献
第5章  原子层沉积材料与生长机理
  5.1  引言
  5.2  原子层沉积氧化物
    5.2.1  H2O作为氧源
    5.2.2  活性氧作为氧源
    5.2.3  H2O2作为氧源
    5.2.4  醇盐作为氧源

  5.3  原子层沉积氮化物
    5.3.1  热ALD制备氨化物
    5.3.2  PEALD制备氨化物
  5.4  原子层沉积半导体
    5.4.1  元素半导体
    5.4.2  Ⅲ-Ⅴ族半导体
  ……
第6章  原子层沉积理论计算与模拟
第7章  等离子体增强原子层沉积技术及其应用
第8章  分子层沉积及其应用
第9章  原子层沉积在微电子领域的应用
第10章  原子层沉积在纳米技术领域的应用
第11章  原子层沉积在光学领域的应用
第12章  原子层沉积技术在能源领域的应用
第13章  原子层沉积在催化领域的应用
第14章  原子层沉积在含能材料领域的应用
第15章  原子层沉积在生物医学领域的应用
第16章  原子层沉积在其他领域的应用
第17章  原子层刻蚀技术

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作者介绍

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