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内容大纲
《半导体厂务项目工程管理》旨在系统介绍半导体厂务项目工程管理的理论与实践，为集成电路生产领域的从业者、高校相关专业师生提供一套全面、实用的知识体系，并能深入理解半导体厂务项目工程管理的核心要素，掌握关键系统的设计、运行与维护技能，为半导体制造工厂的高效、稳定运行贡献力量。
全书共7个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。
本书注重理论与实践相结合，既涵盖了半导体厂务项目工程管理的理论知识，又提供了丰富的实际案例和操作指南，可作为集成电路生产领域的厂务工程师、运维工程师的学习参考用书，也可作为高职高专和应用型本科相关专业参考教材。 -
作者介绍
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目录
前言
第1单元 半导体厂务项目工程管理概述
项目1 半导体厂务项目工程管理介绍
任务1.1 半导体厂务系统概述
习题
第2单元 高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护
项目2 高低压电力系统的组成
任务2.1 高压开关柜
任务2.2 紧急供电的作用与选择
任务2.3 电力设备的维护
任务2.4 厂务接地系统
项目3 FMCS
任务3.1 FMCS网络架构
任务3.2 FMCS仪器选型
任务3.3 FMCS子系统逻辑控制
习题
第3单元 动力系统的设计与运行维护
项目4 动力系统
任务4.1 PCW系统
任务4.2 工艺真空系统
任务4.3 清扫真空系统
任务4.4 冷热源系统
习题
第4单元 排气系统的设计与运行维护
项目5 排气系统
任务5.1 一般废气处理系统
任务5.2 有机废气处理系统
任务5.3 酸碱性废气处理系统
任务5.4 毒性废气处理系统
习题
第5单元 洁净室系统的设计与运行维护
项目6 洁净室系统
任务6.1 洁净室系统介绍
任务6.2 净化风系统
任务6.3 洁净室环境检测
习题
第6单元 气化系统的设计与运行维护
项目7 气体系统
任务7.1 大宗气体
任务7.2 特种气体
任务7.3 气柜操作及故障排查
任务7.4 GMS
任务7.5 气体系统应急处理流程
任务7.6 气体个人防护装备
项目8 化学品系统
任务8.1 化学品种类
任务8.2 化学品供应方式
任务8.3 化学品应急处理流程
任务8.4 化学品系统材质的选用
任务8.5 化学品设备操作及故障排查
任务8.6 化学品个人防护装备
习题
第7单元 纯废水系统的设计与运行维护
项目9 纯水系统
任务9.1 纯水系统的介绍
任务9.2 超纯水系统的运行维护
项目10 废水系统
任务10.1 废水的种类
任务10.2 废水处理系统
习题
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