- 真空获得设备技术原理及应用
- - 作者：编者:张志林|责编:卢萌萌
  - 出版社：化学工业
  - ISBN：9787122492821
  - 出版日期：2026/02/01
  - 页数：205
- 售价：39.2

内容大纲
    本书从基础理论和工程实践角度系统介绍了真空处理工程及真空泵的工作原理、结构特点、应用设计等内容。在基础理论篇章中，从真空的研究对象及其特征入手，建立气体宏观与微观的逻辑及数学关系，并对气体的特征进行分析讲解，运用数学公式对其关键特征进行描述，帮助读者建立从理论到工程实践的桥梁思维。在工程实践篇章中，本着工程技术实践从0到1的思路，帮助读者快速建立产品工程化能力，展开产品设计及研制工作，真正达到学以致用的目的。
    本书共分11章：第1章和第2章介绍了真空技术基础知识和真空处理技术原理；第3章介绍真空系统的组成、设计与模拟仿真等；第4章至第9章分别介绍了螺杆真空泵、罗茨真空泵、油封机械真空泵、往复真空泵、爪式真空泵、分子真空泵与低温真空泵的工作原理、结构特点及设计；第10章介绍真空系统部件材料及制造要求等知识；第11章介绍真空设备应用与展望。
    本书可供从事真空技术研究和真空应用工程的技术人员参考使用，也可作为普通高等院校相关专业的教材使用。
作者介绍
张志林，拥有近20年华为研发管理经验，曾先后在华为无线、华为海思、华为智能汽车BU等体系担任领域总监、产品部部长、地域部长等重量级岗位。在芯片、半导体关键设备及零部件等领域有丰富的行业经验，并持续开展真空处理系统理论及产品工程化的研究与科研工作。
目录
第1章  真空技术基础
  1.1  真空的基本概念
    1.1.1  真空定义与区域划分
    1.1.2  真空度的表示方法
  1.2  真空处理气体理论基础
    1.2.1  气体运动研究分类
    1.2.2  气体系统本质
    1.2.3  真空研究必用的三大定律
    1.2.4  真空研究气体物态方程
    1.2.5  气体分子微观模型与宏观量研究
    1.2.6  影响真空气体处理的因素
  1.3  真空技术的发展历程
  1.4  真空技术的应用领域和展望
    1.4.1  应用领域
    1.4.2  应用展望
第2章  真空获得设备及技术概述
  2.1  真空获得设备作用与分类总览
  2.2  真空泵的工作原理与关键性能指标
    2.2.1  真空泵的工作原理
    2.2.2  真空泵关键性能指标
    2.2.3  真空泵启动压强与工作压强范围
  2.3  真空泵的选择原则与注意事项
  2.4  真空处理流体理论
    2.4.1  流体力学发展及分类
    2.4.2  流体力学研究框架基础
    2.4.3  流体的物性分析
    2.4.4  流体内摩擦力及计算
    2.4.5  真空处理的流体分类
    2.4.6  流体流动描述方法
    2.4.7  流体处理三大方程理解
  2.5  真空处理气体流量计算
    2.5.1  黏滞流的流量计算
    2.5.2  分子流的流量计算
    2.5.3  黏滞流分子流的流量计算
  2.6  真空处理气体流导计算
    2.6.1  流导概念及通用公式
    2.6.2  串/并联管路流导
    2.6.3  常用形体管道元件流导计算
  2.7  真空处理中需要考虑的气体现象
    2.7.1  稀薄气体碰撞
    2.7.2  蒸气和凝结
    2.7.3  蒸发率和凝结率
    2.7.4  气体吸附和脱附现象
    2.7.5  气体渗透现象及相关计算考虑
    2.7.6  气体迁移带来的微观/宏观思考
  2.8  真空系统气体总流量组成
  2.9  真空测量技术与仪器简介
    2.9.1  测量技术
    2.9.2  测量仪器
第3章  真空系统组成、设计与模拟仿真

  3.1  真空系统组成
  3.2  真空容器及其指标
    3.2.1  真空容器的极限真空度
    3.2.2  真空容器的有效抽速
    3.3真空阀门0813.4  真空机组
    3.4.1  低真空机组
    3.4.2  中真空机组
    3.4.3  高真空机组
    3.4.4  超高真空机组
    3.4.5  机组搭配原则
  3.5  真空系统管路连接方式
    3.5.1  不可拆卸连接
    3.5.2  可拆卸的法兰连接
  3.6  真空系统设计及注意事项
    3.6.1  设计注意事项
    3.6.2  真空系统密封设计
    3.6.3  真空系统抽气方程
    3.6.4  真空系统有效抽速
    3.6.5  真空容器压力下降所需时间
  3.7  真空系统泄漏
    3.7.1  概述
    3.7.2  泄漏判断
    3.7.3  气体泄漏的数学表达
  3.8  泄漏检测
    3.8.1  真空系统泄漏检测
    3.8.2  真空系统检漏特征参数及应用
    3.8.3  真空系统泄漏检测方法确定流程
  3.9  真空处理模拟仿真计算
    3.9.1  模拟仿真求解的过程
    3.9.2  常用模拟仿真计算分类
    3.9.3  SIMPLE算法介绍
    3.9.4  常用模拟仿真软件介绍
第4章  螺杆真空泵
  4.1  概述
  4.2  螺杆真空泵分类
    4.2.1  按照螺头划分
    4.2.2  按照螺距划分
  4.3  螺杆真空泵工作原理
    4.3.1  吸气处理
    4.3.2  压缩处理
    4.3.3  排气处理
  4.4  螺杆真空泵端面型线及基本参数
    4.4.1  常见端面型线结构
    4.4.2  端面共轭曲线数学模型
    4.4.3  基本参数求解注意事项
  4.5  螺杆真空泵保养维护
第5章  罗茨真空泵
  5.1  概述
  5.2  结构组成
    5.2.1  转子布局结构

    5.2.2  罗茨真空泵其他附带结构
  5.3  罗茨真空泵转子型线
    5.3.1  转子外观结构
    5.3.2  转子端面型线
  5.4  罗茨真空泵基本参数
    5.4.1  理论几何抽速
    5.4.2  罗茨真空泵温度考虑
    5.4.3  有效抽气量
    5.4.4  零流量压缩比
    5.4.5  有效压缩比
    5.4.6  功率估算
  5.5  罗茨真空泵保养维护
第6章  油封机械真空泵
  6.1  旋片真空泵
    6.1.1  旋片真空泵的结构
    6.1.2  旋片真空泵的工作原理
    6.1.3  旋片真空泵的极限压力
    6.1.4  旋片真空泵的抽速
    6.1.5  旋片真空泵的功率
    6.1.6  旋片真空泵的转子半径和腔体半径
    6.1.7  旋片真空泵的转子偏心率和旋片长度
    6.1.8  旋片真空泵的维护保养
  6.2  滑阀真空泵
    6.2.1  滑阀真空泵的组成
    6.2.2  滑阀真空泵的工作原理
    6.2.3  滑阀真空泵的结构介绍
    6.2.4  滑阀真空泵的关键参数
    6.2.5  滑阀真空泵的保养维护
第7章  往复真空泵
  7.1  概述
  7.2  工作原理
  7.3  组成结构
  7.4  往复真空泵基本参数
    7.4.1  几何抽速
    7.4.2  极限压力考虑
  7.5  往复真空泵保养维护
第8章  爪式真空泵
  8.1  概述
  8.2  爪式真空泵的工作原理
  8.3  爪式真空泵转子型线结构
    8.3.1  曲爪式型线结构
    8.3.2  直爪式型线结构
  8.4  爪式真空泵关键参数
    8.4.1  转子容积
    8.4.2  爪式真空泵压缩比
    8.4.3  爪式真空泵几何抽速
  8.5  爪式真空泵保养维护
第9章  分子真空泵与低温真空泵
  9.1  分子真空泵
    9.1.1  分子真空泵分类与工作原理

    9.1.2  分子真空泵保养维护
  9.2  低温真空泵
    9.2.1  低温真空泵工作过程
    9.2.2  低温真空泵的性能参数
    9.2.3  低温真空泵的保养维护
第10章  真空系统部件材料与制造
  10.1  涉及材料范围
  10.2  材料性能要求
    10.2.1  材料渗透性
    10.2.2  材料出气速率
    10.2.3  材料蒸气压
    10.2.4  材料的其他性能
  10.3  金属材料
    10.3.1  铸件
    10.3.2  钢及不锈钢
    10.3.3  不锈复合钢板
    10.3.4  有色金属
  10.4  非金属材料
    10.4.1  氟塑料
    10.4.2  碳
    10.4.3  碳纤维
    10.4.4  碳纤维树脂复合材料
    10.4.5  其它真空材料
    10.4.6  辅助密封材料
  10.5  真空系统部件铸造工艺
    10.5.1  铸造工艺的分类
    10.5.2  铸造工艺的主要特点
    10.5.3  铸造工艺的发展趋势
    10.5.4  铸造常见缺陷
    10.5.5  铸造质量控制
    10.5.6  铸造过程
    10.5.7  浇铸系统
第11章  真空设备应用与展望
  11.1  典型应用及真空设备要求
    11.1.1  IC制备行业
    11.1.2  新能源行业
    11.1.3  化工行业应用
    11.1.4  航天领域应用
    11.1.5  集成部件使用
  11.2  真空设备发展展望
参考文献

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作者介绍

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