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硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书
所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表作者：编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元出版社：电子工业
丛书项：集成电路系列丛书
随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS 芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基 MEMS芯片的批量制造，系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与MEMS相关的工作打下基础。本书适合从事MEMS芯片研发的科技人员阅读使用，也可作为高等学校相关专业的教学用书。
售价：55.20

常见液压系统回路解析及工程案例
所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表作者：孟庆云|责编:廉静出版社：化学工业
全书涉及20个行业领域的液压系统应用案例，采用逐个回路剖析方式，将复杂工程回路简化为液压基本回路，通过回路讲解，化繁为简，利于初学者学习提高。主要内容包括：数控车床液压系统、通用液压机液压系统、自卸汽车液压系统、垃圾车液压系统、注塑机液压系统、液压叉车液压系统、多缸顺序专用铣床液压系统、乐池升降平台液压系统、卧式镗铣加工中心液压系统、起货机的液压系统、折弯机液压系统、扫路车液压系统、打捆机液压系统、飞机起落架液压系统、剪板机液压系统、机械手液压系统、 C型翻车机液压系统、采煤机液压系统、电弧炼钢炉液压系统、推土机液压系统。本书可供机械相关行业的液压科研人员、技术人员和设计人员阅读使用，也可供高等院校的相关专业师生学习和参考。
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液压多路阀原理及应用实例/液压气动经典图书元件系列
所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表作者：编者:吴晓明|责编:张秀恩//刘本明出版社：机械工业
丛书项：液压气动经典图书元件系列
本书系燕山大学吴晓明教授总结多年的教学与科研实践经验，从工程应用出发，编著的一本多路阀技术书籍。其主要内容包括：液压基础知识；多路阀技术基础；多路阀的结构组成；常用多路阀控制回路；典型多路阀的结构和工作原理；多路阀的维护、保养和故障排除；多路阀在液压挖掘机上的应用。本书适合液压专业的科研人员，设计、制造调试和使用维护部门的工程技术人员，工程机械现场工作人员，大专院校有关专业师生使用。
售价：35.60

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