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生活百科
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电子材料大气腐蚀行为与机理
所属分类:
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者:
编者:肖葵//邹士文//董超芳//李晓刚
出版社:
化学工业
本书详细介绍了电子材料在各类环境中的腐蚀特 征,透彻分析了污染物、颗粒物、电场和磁场等对电 子材料腐蚀行为的影响和腐蚀机制,以及PCB的腐蚀行 为与机理;建立了多因素作用下电子材料腐蚀失效规 律和理论模型,为电子设备系统中电子电路和电子元 器件的选材、设计、制造、防护和维修等提供理论指 导。 本书适合从事材料腐蚀与防护、表面技术以及电 子材料相关研究的技术人员、师生阅读参考。
售价:
35.20
等离子体刻蚀工艺及设备(精)/集成电路系列丛书
所属分类:
电子电脑
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电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者:
编者:赵晋荣|责编:柴燕|总主编:王阳元
出版社:
电子工业
丛书项:
集成电路系列丛书
本书以集成电路领域中 的等离子体刻蚀为切入点, 介绍了等离子体基础知识、 基于等离子体的刻蚀技术、 等离子体刻蚀设备及其在集 成电路中的应用。全书共8 章,内容包括集成电路简介 、等离子体基本原理、集成 电路制造中的等离子体刻蚀 工艺、集成电路封装中的等 离子体刻蚀工艺、等离子体 刻蚀机、等离子体测试和表 征、等离子体仿真、颗粒控 制和量产。本书对从事等离 子体刻蚀基础研究和集成电 路工厂产品刻蚀工艺调试的 人员均有一定的参考价值。 本书适合相关领域的大 专院校、研究所以及科技型 公司的师生、科研人员和工 程师等专业人员,以及对集 成电路产业感兴趣的社会各 界人士阅读参考。
售价:
39.20
半导体干法刻蚀技术(原子层工艺)/集成电路科学与工程丛书
所属分类:
电子电脑
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电工无线电自动化
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无线电电子.电讯
作者:
(美)索斯藤·莱尔|责编:刘星宁|译者:丁扣宝
出版社:
机械工业
丛书项:
集成电路科学与工程丛书
集成电路制造向几纳米 节点工艺的发展,需要具有 原子级保真度的刻蚀技术, 原子层刻蚀(ALE)技术应 运而生。本书主要内容有: 热刻蚀、热各向同性ALE、 自由基刻蚀、定向ALE、反 应离子刻蚀、离子束刻蚀等 ,探讨了尚未从研究转向半 导体制造的新兴刻蚀技术, 涵盖了定向和各向同性ALE 的最新研究和进展。本书以 特定的刻蚀应用作为所讨论 机制的示例,例如栅极刻蚀 、接触孔刻蚀或3D NAND 通道孔刻蚀,有助于对所有 干法刻蚀技术的原子层次理 解。 本书概念清晰,资料丰 富,内容先进,可作为微电 子学与固体电子学、电子科 学与技术、集成电路科学与 工程等专业的研究生和高年 级本科生的教学参考书,也 可供相关领域的工程技术人 员参考。
售价:
47.60
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